プラズマCVDやスパッタ源を搭載した、プラスチックフィルム等のウェブへロールツーロール体式格局によりバリア膜(SiO2など)・通明導電膜(ITOなど)を連続的に成膜するロールコータです。

成膜プロセスによって、以下のバリエーションに分けられます。

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ロールコータの例 (W35シリーズ、スパッタでの構成)

バリエーション -8996.com-澳门金沙3983.com

スパッタロールコータ

各種カソード(DC, UBMS, DMS, ロータリーマグネトロン)を用いたスパッタリング法によって、タッチパネル・FPD・太陽電池・ウィンドウフィルムなどで需要とされる通明導電膜(TCO)・光学膜・金属膜を成膜します。

プラズマCVDロールコータ

ローラ間で発生する放電を应用してSiOx(シリカ膜)を成膜し、有機EL・電子ペーパ・照明・太陽電池などで需要とされるバリア性を実現します。

AIPロールコータ

真空アーク放電を应用してターゲット质料を蒸発させ、金属化合物膜を成膜します。

上記バリエーションは、R&D・パイロット死産背けの小型装配から、量産背け巾広・大型装配への対応が能够です。フレキシブルエレクトロニクス・エネルギー分野での研讨開発からフル生産までのニーズにお応えします。

装配ラインアップ

1. R&D・パイロット死産背けロールコータ (W35シリーズ):スパッタ and/or PECVD

R&D・パイロット死産背けロールコータ

R&D・パイロット死産背けロールコータ
W35シリーズ -8996.com
  1. 小型・省スペース
  2. フィルム巾:350mm(~800mm)
  3. プロセス・フレキシビリティー
    • スパッタ、CVD、AIP、EB蒸着などが搭載可。
    • 高耐熱フィルム対応:温調されたメインドラムによって300℃でのスパッタ成膜プロセスが能够。

2.量産背けスパッタロールコータ(W50/60Sシリーズ)

量産背けロールコータ W50シリーズ

量産背けスパッタロールコータ
  1. メンテナンス性
  2. フィルム巾:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)
  3. スパッタエリア数:1ドラムあたり最大4ゾーン、支解ゾーン排気
  4. 脱ガス機能の充実

3.量産背けPECVDロールコータ(W60Cシリーズ)

AIPロールコータ AIP-W500

量産背けPECVDロールコータ
(W60Cシリーズ)
  1. フィルム巾:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)、2ゾーン成膜
  2. メンテナンス性:コーティングゾーン他がメンテナンス時に齐開
  3. 高成膜速度
  4. 低コンタミネーション、下质料利用率
  5. 均一成膜(幅偏向、長脚偏向)

4.AIPロールコータ

AIPロールコータ AIP-W500

AIPロールコータ AIP-W500
  1. 金属箔への連続成膜
  2. 両面成膜
  • NewBrowser

4.カスタム対応

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丸チャンバ・引抜型ロールコータ

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脱ガス装配

アプリケーション例

  1. タッチパネル用ITOフィルム、メタルメッシュ(Cu, Ag, Al)
  2. 樹脂フィルム(PET, PENなど)を基板とする示意デバイス(液晶、有機EL、電子ペーパ)・照明デバイス
  3. ポリイミド(PI)に銅を積層したフレキシブル基板
  4. 金属箔や樹脂フィルムをベースとする薄膜型の太陽電池
  5. 二次電池、コンデンサ
  6. ウィンドウフィルム
  7. 抗菌フィルム

お問い合わせ先

株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門
産業機械事業部 高機能商品部 営業室
TEL:03-5739-6761
FAX:03-5739-6990

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